一种基于位置探测器的实时对焦装置及对焦方法
基本信息
| 申请号 | CN202110880565.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113329184A | 公开（公告）日 | 2021-08-31 |
| 申请公布号 | CN113329184A | 申请公布日 | 2021-08-31 |
| 分类号 | H04N5/232（2006.01）I;G01N21/88（2006.01）I;G01N21/01（2006.01）I;G01B11/00（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 电通信技术; |
| 发明人 | 黄小飞 | 申请（专利权）人 | 武汉中导光电设备有限公司 |
| 代理机构 | 武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李景 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市武汉经济技术开发区高科技产业园16号楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种基于位置探测器的实时对焦装置及对焦方法。本申请提供的实时对焦装置包括：光学头，用于对晶圆进行拍照扫描，并在所述晶圆上定义第一拍摄点；Z轴电机，与所述光学头连接，用于带动所述光学头沿着Z轴方向调整高度；红外激光器，用于向晶圆上的第一拍摄点发射激光，并在第一拍摄点上形成光斑；位置探测器，其用于检测所述光斑的位置信息；控制器，其用于根据所述位置信息计算第一拍摄点的Z轴高度，并根据所述Z轴高度调整所述光学头高度以进行对焦。本申请提供的实时对焦装置能够保证光学头实时跟随晶圆的Z向高度变化，保证晶圆的拍照视野始终处于光学头的景深范围内，提高了光学头的工作效率。 |
