一种用于晶圆检测的Z-Theta组合装置
基本信息
| 申请号 | CN202110845560.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113299585A | 公开（公告）日 | 2021-08-24 |
| 申请公布号 | CN113299585A | 申请公布日 | 2021-08-24 |
| 分类号 | H01L21/67（2006.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I;G01N33/00（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 郭建华 | 申请（专利权）人 | 武汉中导光电设备有限公司 |
| 代理机构 | 武汉智权专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 李景 |
| 地址 | 430000湖北省武汉市武汉经济技术开发区高科技产业园16号楼4楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及晶圆检测技术领域，特别涉及一种用于晶圆检测的Z‑Theta组合装置。本申请提供的Z‑Theta组合装置，包括：底板；Z轴模块，包括Z轴负载板和楔状的Z轴滑块，Z轴滑块放置在底板上，Z轴负载板滑动设置在Z轴滑块的顶端斜面上；第一驱动装置，用于驱动Z轴滑块沿着底板在水平方向移动，Z轴滑块水平移动后带动Z轴负载板沿着竖直方向移动；T轴模块，包括设置在Z轴负载板上方的T轴负载板；第二驱动装置，用于驱动T轴负载板旋转运动；吸盘，设置在T轴负载板的上方，用于放置晶圆，吸盘上开设若干小孔；顶杆组，其一端连接在所述底板上，另一端穿过Z轴负载板后伸入吸盘的小孔内，顶杆组在吸盘的位置下降后将晶圆顶起。 |
