一种管内气相沉积设备进气装置
基本信息
| 申请号 | CN202022360460.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213476096U | 公开（公告）日 | 2021-06-18 |
| 申请公布号 | CN213476096U | 申请公布日 | 2021-06-18 |
| 分类号 | C23C16/455（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 俞佳宾;李凡;眭立洪;施国棋;王龙飞 | 申请（专利权）人 | 江苏永鼎光纤科技有限公司 |
| 代理机构 | 苏州知途知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 马刚强 |
| 地址 | 215200江苏省苏州市吴江区黎里镇越秀路888号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本申请涉及一种管内气相沉积设备进气装置，包括一端连接气柜的进气管和一端连接卡盘的反应管，反应管的另一端套设在所述进气管的另一端外侧，所述进气管和反应管之间设有弹性密封件，弹性密封件外壁与所述反应管内壁间密封，所述弹性密封件内壁与所述进气管外壁间留有间隙，还包括真空密封组件，真空密封组件包括套设在所述弹性密封件外侧的真空密封件主体，真空密封件主体上开设有高纯气体进气口、抽真空进气口、抽真空排气口和空气进气口。本实用新型的管内气相沉积设备进气装置，通过在机床卡盘和气柜间增加一套密封装置，采用抽真空原理，利用气体实现密封，解决了旋转密封的问题，使用气体密封代替磁液密封或航空脂，成本低。 |
