一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管专利查询专利号|摘要-满商公司网

一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管

基本信息

申请号	CN202110393643.7	申请日	-
公开（公告）号	CN113264670A	公开（公告）日	2021-08-17
申请公布号	CN113264670A	申请公布日	2021-08-17
分类号	C03B37/018	分类	玻璃；矿棉或渣棉;
发明人	王龙飞;李凡;顾建宏;帅小立;刘顺;冀云磊;张佚;吴林清	申请（专利权）人	江苏永鼎光纤科技有限公司
代理机构	苏州睿昊知识产权代理事务所（普通合伙）	代理人	沈彬彬
地址	215000 江苏省苏州市吴江区黎里镇318国道74K处芦墟段北侧
法律状态	-

摘要

本发明公开了一种制备大尺寸掺氟石英管的方法及掺氟石英管，该方法包括以下步骤：S10、在靶棒表面沉积二氧化硅粉末，得到疏松体棒；S20、将疏松体棒转移至烧结炉中，对疏松体棒进行脱水处理，得到纯化疏松体棒；S30、向烧结炉中通入含有C₂F₆和氦气的混合气体一，对纯化疏松体棒进行氟掺杂，得到纯化掺氟疏松粉棒；S40、向烧结炉中通入含有C₂F₆和氦气的混合气体二，对纯化掺氟疏松粉棒进行烧结，使其完全玻璃化，得到烧结预制棒；S50、重复步骤S10‑S40n次，得到烧结预制棒成品，n为总沉积次数；S60、将烧结预制棒成品加工成石英管。本发明通过多次沉积和氟掺杂疏松体棒，可增大掺氟石英管尺寸、保证氟含量均匀性。具有工艺简单，掺氟效果好的优点。