一种用于制备磷化铟单晶的高压炉

基本信息

申请号 CN202020297577.4 申请日 -
公开(公告)号 CN212270279U 公开(公告)日 2021-01-01
申请公布号 CN212270279U 申请公布日 2021-01-01
分类号 C30B29/40(2006.01)I;C30B35/00(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 于会永;冯佳峰;赵中阳;赵春锋;张军军;雷仁贵;肖亚东;袁韶阳;吴凤祥 申请(专利权)人 大庆溢泰半导体材料有限公司
代理机构 黑龙江省百盾知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 大庆溢泰半导体材料有限公司
地址 163000黑龙江省大庆市高新区火炬新街36号新兴产业孵化器(园区)3#210房间
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于制备磷化铟单晶的高压炉,具体为磷化铟领域,包括装置底座,所述装置底座的底部固定安装有装置滚轮,所述装置底座的顶部固定安装有电源箱,所述装置底座的顶部固定安装有支撑座,所述支撑座的顶部固定安装有固定座,所述活动杆的内部固定安装有升降控制装置,所述坩埚的表面活动安装有阀门。本实用新型通过设置可移动底座减震装置,使得整体装置在使用的时候也可以通过该装置进行移动,使得其的使用环境以及场地不再受到限制,而且位都可拆卸,在一定程度上节省了人力,既避免了原装置不便于移动的问题,又解决了该装置在使用的过程中震动过大影响整个装置的问题。