晶体的高温退火炉
基本信息
| 申请号 | CN00216702.6 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN2408570Y | 公开（公告）日 | 2000-11-29 |
| 申请公布号 | CN2408570Y | 申请公布日 | 2000-11-29 |
| 分类号 | H01L21/324 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 徐军;周国清;邓佩珍 | 申请（专利权）人 | 上海中科嘉浦光电子材料有限公司 |
| 代理机构 | 上海华东专利事务所 | 代理人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 |
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种晶体的高温退火炉,主要包括在能够密封的钟罩内,同一中心轴线的置有埚托、置于埚托上垫板上的待退火晶体,直径Dh大于待退火晶体直径Dj的恒温筒和直径Df大于恒温筒直径Dh的发热体。发热体的热量以辐射的形式传给待退火晶体。待退火晶体不直接接触发热体,退火的温度是缓缓升高,消除了因温度突然升高而引起待退火晶体炸裂的因素。虽然退火温度可以高达2200℃,但均匀而容易控制。适宜对高温氧化物晶体的退火。 |
