一种碳化硅复合靶材及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202110287506.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112811908A | 公开（公告）日 | 2021-05-18 |
| 申请公布号 | CN112811908A | 申请公布日 | 2021-05-18 |
| 分类号 | C04B35/565;C04B35/622;C04B35/645 | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 姚力军;潘杰;王巨宝;单长滨;王学泽;王科 | 申请（专利权）人 | 上海戎创铠迅特种材料有限公司 |
| 代理机构 | 北京远智汇知识产权代理有限公司 | 代理人 | 王岩 |
| 地址 | 201401 上海市奉贤区肖塘路255弄10号1层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种碳化硅复合靶材及其制备方法，所述制备方法包括以下步骤：将碳化硅粉末、碳粉、粘结剂和溶剂混合进行湿法球磨，得到混合浆料；将混合浆料进行喷雾造粒，得到造粒粉末；将造粒粉末进行冷等静压成型，得到靶材坯料；将靶材坯料进行热压烧结，得到碳化硅复合靶材。本发明所述方法根据原料的特性选择湿法球磨工艺，再经喷雾造粒、冷等静压成型，得到粉末混合均匀、致密度高的坯料，避免热压烧结过程中出现粉末外溢和喷出的问题；再经对热压烧结工艺的控制，得到质量稳定，性能一致的靶材产品，满足后续溅射使用的性能要求；所述方法操作简单，连贯性好，成本较低，适用范围广。 |
