多晶铸锭炉防回油装置

基本信息

申请号 CN201520066059.0 申请日 -
公开(公告)号 CN204589375U 公开(公告)日 2015-08-26
申请公布号 CN204589375U 申请公布日 2015-08-26
分类号 C30B28/06(2006.01)I;C30B29/06(2006.01)I 分类 晶体生长〔3〕;
发明人 谈军;刘荣建;季小军;吕剑明;孙东 申请(专利权)人 华星电力(常州)有限公司
代理机构 常州市维益专利事务所 代理人 国电兆晶光电科技江苏有限公司
地址 213200 江苏省常州市金坛市南环二路888号
法律状态 -

摘要

摘要 多晶铸锭炉防回油装置,包括真空泵、单向阀、抽气管和铸锭炉,真空泵与铸锭炉之间由抽气管相通联,单向阀安装在真空泵与铸锭炉之间的抽气管上,真空泵将铸锭炉内的气体通过抽气管和单向阀排出。由于采用了多晶铸锭炉防回油装置,它在真空泵出现故障时,外界气体不能通过抽气管回流,真空泵内的机械油也无法通过抽气管倒流入铸锭炉内。杜绝了机械油污染铸锭炉腔内的晶锭、加热器等,为厂家节约了大量的成本,不会对生产造成影响。