一种干法刻蚀用12寸机台改8寸治具
基本信息
| 申请号 | CN202121746750.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN215183896U | 公开（公告）日 | 2021-12-14 |
| 申请公布号 | CN215183896U | 申请公布日 | 2021-12-14 |
| 分类号 | H01L21/683（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 邓宇;陈银培 | 申请（专利权）人 | 浙江美迪凯光学半导体有限公司 |
| 代理机构 | 杭州华知专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 张德宝 |
| 地址 | 314400浙江省嘉兴市海宁市长安镇（高新区）新潮路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种干法刻蚀用12寸机台改8寸治具，包括12寸底座，12寸底座中心开设有8寸凹槽，8寸凹槽与12寸底座为同心圆，8寸凹槽底部贴有双面高温胶带，8寸凹槽内双面高温胶带上贴附8寸待加工晶圆。高温胶带的作用为防止8寸晶圆在腔体内传输过程中打滑；采用高温胶带目的为防止腔体内温度过高导致胶带软化变形。该干法刻蚀用12寸机台改8寸治具可以在不改造机台的情况下，在12寸干法刻蚀设备上进行8寸晶圆的作业，提升设备的兼容性，节省成本。 |
