一种微型晶圆摄像模组侧壁镀膜膜系及其加工工艺
基本信息
| 申请号 | CN202010295655.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111485199B | 公开（公告）日 | 2022-03-22 |
| 申请公布号 | CN111485199B | 申请公布日 | 2022-03-22 |
| 分类号 | C23C14/10（2006.01）I;C23C14/18（2006.01）I;C23C14/16（2006.01）I;C23C14/34（2006.01）I;B05D1/26（2006.01）I;B05D3/06（2006.01）I;H04N5/225（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 吴岳;葛文志;王刚;余开封;徐宝利 | 申请（专利权）人 | 浙江美迪凯光学半导体有限公司 |
| 代理机构 | 浙江新篇律师事务所 | 代理人 | 龚玉平 |
| 地址 | 314408 浙江省嘉兴市海宁市长安镇（高新区）新潮路15号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及微型晶圆摄像模组镀膜技术领域。本发明公开了一种微型晶圆摄像模组侧壁镀膜膜系，包含四层涂层，由内至外依次为SiO2基础层、Nb涂层、Si涂层、SiO2涂层，所述黑色镀膜外侧光谱为400‑900nm，光密度不小于5，最大透过率不大于0.05％，最大反射率不大于50％，所述黑色镀膜内侧光谱为400‑900nm，最大反射率不大于25％。本发明还公开了镀膜膜系的加工工艺，结合点胶、喷溅镀膜等技术。该本发明有效解决极小模组侧壁无法使用传统塑胶成形Holder进行遮光问题，并达到在侧壁完全不透光的光学条件下具有厚度薄，膜层牢固度强。 |
