一种新型“三明治”结构柔性热膜微传感器及制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201811330397.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN109553061B | 公开（公告）日 | 2019-04-02 |
| 申请公布号 | CN109553061B | 申请公布日 | 2019-04-02 |
| 分类号 | B81B7/00(2006.01)I | 分类 | 微观结构技术〔7〕; |
| 发明人 | 马炳和;孙宝云;王朋彬;邓进军;罗剑 | 申请（专利权）人 | 西安砺芯慧感科技有限公司 |
| 代理机构 | 西北工业大学专利中心 | 代理人 | 吕湘连 |
| 地址 | 710086 陕西省西安市西咸新区沣东新城丰业大道西段天章三路1212号沣东创智云谷5号楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型“三明治”结构柔性热膜微传感器及制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。本发明采用顶层热敏单元(5)‑中间绝缘层(3)‑底层发热单元(6)的三层薄膜结构，顶层热敏单元(5)和底层发热单元(6)之间通过中间绝缘层(3)进行电隔离，相互独立工作。顶层热敏单元(5)和底层发热单元(6)结构尺寸完全相同对称且工作温度相同，消除了顶层热敏单元向基底的热传导，大大提高了传感器的测量精度和动态特性。通过薄膜沉积和两次光刻工艺实现传感器结构的制备，保证了顶层热敏单元(5)和底层发热单元(6)空间位置关系。 |
