一种新型柔性剪应力与压力传感器结构和制作方法
基本信息
| 申请号 | CN201810633223.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN108871656B | 公开（公告）日 | 2018-11-23 |
| 申请公布号 | CN108871656B | 申请公布日 | 2018-11-23 |
| 分类号 | G01L11/00(2006.01)I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 马炳和;王朋彬;孙宝云;罗剑;邓进军 | 申请（专利权）人 | 西安砺芯慧感科技有限公司 |
| 代理机构 | 西北工业大学专利中心 | 代理人 | 吕湘连 |
| 地址 | 710086 陕西省西安市西咸新区沣东新城丰业大道西段天章三路1212号沣东创智云谷5号楼2层 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种新型柔性剪应力与压力传感器结构和制作方法，属于微机电系统(MEMS)领域。首先本发明可分别测量剪应力和压力。采用柔性基底，具有可弯曲扭转、曲面适应性等优点。首先将柔性基底贴附在玻璃片上，在上边先后分别溅射二氧化硅、阻刻层、测线、发热单元等形成发热单元和测量单元分离的具有纳米空腔的传感器。本发明的有益效果是：(1)传感器可以分别测量剪应力和压力，可实现单次安装测量多个物理参数；(2)传感器采用柔性基底，具有可弯曲扭转、曲面适应性好等优点。(3)传感器具有较高的长宽比，灵敏度高、响应速度快。 |
