一种全自动固晶机设备支架固定板加热系统

基本信息

申请号 CN202122050554.0 申请日 -
公开(公告)号 CN214313245U 公开(公告)日 2021-09-28
申请公布号 CN214313245U 申请公布日 2021-09-28
分类号 H01L33/48(2010.01)I;H01L21/67(2006.01)I;G05D23/22(2006.01)I 分类 基本电气元件;
发明人 黄小辉;闫志超;李大超;刘政 申请(专利权)人 至芯半导体(杭州)有限公司
代理机构 北京高沃律师事务所 代理人 史云聪
地址 310000浙江省杭州市钱塘新区河庄街道东围路599号博潮城4幢一层和二层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种全自动固晶机设备支架固定板加热系统,涉及恒温加热技术领域,包括至少一个加热带、PID温控仪和电源;所述加热带和所述PID温控仪均与所述电源电连接;所述加热带用于对支架固定板加热;所述PID温控仪的探温热电偶用于监测所述支架固定板的温度并控制所述加热带的运行与停止。加热带升温至所需温度,温控仪内部自带继电器跳闸断路,停止直流电源供电至加热带,加热停止;热电偶监控到温度降至温控仪设置的范围以下时温控仪内部继电器自动合闸,与直流电源形成回路,再次供电加热带进行加热。长此往复,保证加热带及支架固定板的温度在小范围可控范围内波动以此达到恒温目的。