一种易于放大的钙钛矿表面钝化工艺

基本信息

申请号 CN202110095004.2 申请日 -
公开(公告)号 CN113161487A 公开(公告)日 2021-07-23
申请公布号 CN113161487A 申请公布日 2021-07-23
分类号 H01L51/42;H01L51/44;H01L51/48 分类 基本电气元件;
发明人 朱桂;安扬;陈伟中;范利生;田清勇;范斌 申请(专利权)人 昆山协鑫光电材料有限公司
代理机构 苏州企航知识产权代理事务所(普通合伙) 代理人 朱丹
地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇玉杨路366号6号房
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提出了一种易于放大的钙钛矿表面钝化工艺,包括以下步骤:S1:取第一基底玻璃,并在第一基底玻璃上依次制备第一电极、电子传输层和钙钛矿层;S2:取第二基底玻璃,在所述第二基底玻璃上依次制备第二电极及空穴传输层,随后在空穴传输层上制备钝化层;S3:用热压法将步骤S1和S2中制备的半成品钙钛矿器件通过高温压制在一起,且钙钛矿层和钝化层相互贴合,形成最终完整的钙钛矿器件,本工艺能够将小器件使用到的钙钛矿表面钝化工艺成功放大到大组件的制备中,减少钝化层的溶液对钙钛矿的破坏,提高器件效率及稳定性;并且使钝化工艺中采用的溶剂不受太多限制,拓展了其选择范围。