一种掩模制造用新型真空系统及上下料方法
基本信息
| 申请号 | CN202011530542.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112758669A | 公开（公告）日 | 2021-05-07 |
| 申请公布号 | CN112758669A | 申请公布日 | 2021-05-07 |
| 分类号 | B65G47/90(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 华卫群;尤春;刘浩;刘维维;杨东海;韦庆宇;顾梦星 | 申请（专利权）人 | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡苏元专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴忠义 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新吴区菱湖大道202号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明属于掩模制造领域，提供了一种掩模制造用新型真空系统，包括工艺腔体，工艺腔体内设置有工件台和机械手臂，工艺腔体外侧在进出料口处设置有上下料腔体，上下料腔体通过进出料口与工艺腔体连通，进出料口设置有电控内封闭门，上下料腔体设置有与外界连通的送料口并设置有电控外封闭门；工艺腔体和上下料腔体均设置有真空调节装置。本发明同时提供了这种真空系统的上下料方法。本发明提供的掩模制造用新型真空系统及上下料方法，在工艺腔体前上下料腔体，在工艺进行过程中完成上下料真空环境的转换，减少交互对工艺的影响，整体上缩短制造用时，提高效率和产能，同时在工艺腔体内添加了预存料盒，节省工艺等待时间，进一步提高效率和产能。 |
