一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置
基本信息
| 申请号 | CN202022475749.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213276254U | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN213276254U | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | G03F1/72(2012.01)I;B65D19/44(2006.01)I;B65D19/38(2006.01)I;G03F1/48(2012.01)I;G03F1/82(2012.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 华卫群;尤春;朱磊;顾梦星;韦庆宇;杨东海 | 申请（专利权）人 | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡苏元专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴忠义 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新区菱湖大道202号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型属于半导体制造领域，提供了一种掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，包括底座，底座的上端面设置有托盘槽，托盘槽内放置有用于放置掩膜版的托盘，底座的上端面在托盘槽的外围设置有若干下压组件，每个下压组件的下压执行部分位于托盘的上方。本实用新型提供的掩膜工艺中手动拆膜用平台装置，结构简单，使用方便，对掩膜版进行有效固定，防止拆膜过程中掩膜版出现晃动，避免掩膜版出现划伤、报废的情况。 |
