一种通用掩模夹具
基本信息
| 申请号 | CN202022475732.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213276257U | 公开（公告）日 | 2021-05-25 |
| 申请公布号 | CN213276257U | 申请公布日 | 2021-05-25 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I | 分类 | - |
| 发明人 | 华卫群;尤春;刘维维;杨东海;顾梦星;刘浩 | 申请（专利权）人 | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 代理机构 | 无锡苏元专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴忠义 |
| 地址 | 214000江苏省无锡市新区菱湖大道202号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种通用掩模夹具，包括底座，所述底座上设有放置台，所述放置台上设有掩模，所述底座上设有用于夹持不同大小掩模的夹持装置，本实用新型通过设有夹持装置，可以解决目前阶段的掩模夹具存在的诸多不足，解决了在对于不同的掩模需要不同类型的夹具，无法实现一种夹具掩模通用的问题，在夹持不同大小的掩模时无需更换夹具，方便快捷。 |
