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一种电镜探测器的驱动机构及电镜探测器装置

基本信息

申请号 2020110456919 申请日 -
公开（公告）号 CN112289668A 公开（公告）日 2021-01-29
申请公布号 CN112289668A 申请公布日 2021-01-29
分类号 H01J37/20(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 刘其武 申请（专利权）人 北京中科科仪股份有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 王艺涵
地址 100190北京市海淀区中关村北二条13号
法律状态 -

摘要

摘要 一种电镜探测器的驱动机构及包含有该驱动机构的电镜探测器，属于电镜技术领域。该驱动机构包括固定件，与样品室相连；伸缩件，与所述固定件可伸缩移动相连，所述样品室设有开口，所述伸缩件包括：安装有探测器的伸缩部，所述伸缩部穿过所述开口且受驱动地带动所述探测器伸缩移动。本发明通过驱动位于固定件上的伸缩件，带动位于样品室内的、位于伸缩部上的探测器进行移动，以此来改变探测器的位置，当不需要使用该探测器时，只需要改变探测器的位置，使其脱离电子光学系统，而无需将探测器从样品内取出；这种操作方式简单快速。