带内加热装置的磁悬浮分子泵

基本信息

申请号 CN201911136129.4 申请日 -
公开(公告)号 CN110863997A 公开(公告)日 2020-03-06
申请公布号 CN110863997A 申请公布日 2020-03-06
分类号 F04D19/04;F04D25/08;F04D29/54;F04D29/58;G05D23/24 分类 液体变容式机械;液体泵或弹性流体泵;
发明人 邹蒙;李赏;张勤德 申请(专利权)人 北京中科科仪股份有限公司
代理机构 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 代理人 北京中科科仪股份有限公司
地址 100190 北京市海淀区中关村北二条13号
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供的带内加热装置的磁悬浮分子泵,属于真空设备技术领域,包括:泵壳、转子、多级静片和拖动级定子,所述拖动级定子在所述泵壳内位于所述多级静叶的下端,在拖动级定子的外壁上设置有PTC热敏电阻;本发明提供的磁悬浮分子泵,采用PTC热敏电阻内置于泵壳内,并设置在拖动级定子的外壁上,通过PTC热敏电阻直接对拖动级定子进行加热,可提高对拖动级定子的加热效率,防止反应生成物在拖动级定子内凝结堆积;由于PTC热敏电阻阻值会随温度升高而增加,在温度达到预设温度后能够自动停止加热,因此可实现其自动恒温控制,而无需对PTC热敏电阻进行控制器控制,因此可简化温度控制系统,减小控制器体积及发热量。