一种静电偏转装置及其偏转方法
基本信息
| 申请号 | CN202011037411.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112086332A | 公开（公告）日 | 2020-12-15 |
| 申请公布号 | CN112086332A | 申请公布日 | 2020-12-15 |
| 分类号 | H01J37/147;H01J37/28 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 贾雪峰;孟祥良;孙占峰 | 申请（专利权）人 | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 代理机构 | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 | 代理人 | 北京中科科仪股份有限公司 |
| 地址 | 100190 北京市海淀区中关村北二条13号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种静电偏转装置及其偏转方法，涉及电子成像装置技术领域，所述静电偏转装置包括：静电偏转极板，所述静电偏转极板包括：第一极板组和第二极板组，所述第一极板组和所述第二极板组其二者向电子束施加相反的作用力。本发明实施例能够解决现有静电偏转装置扫描速度不高，且存在像差和畸变的问题。 |
