一种具有除尘功能的PECVD下料装置
基本信息
| 申请号 | CN201920059026.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN209508406U | 公开（公告）日 | 2019-10-18 |
| 申请公布号 | CN209508406U | 申请公布日 | 2019-10-18 |
| 分类号 | C23C16/50（2006.01）I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 康天天 | 申请（专利权）人 | 高平市融高太阳能开发有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 048000 山西省晋城市高平市马村镇康营村 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了PECVD下料装置技术领域的一种具有除尘功能的PECVD下料装置，包括下料本体与机械臂，下料本体顶部内壁设置有机械臂，机械臂底部外壁设置有连接板，连接板底部外壁设置有吸盘，下料本体左右两侧中央内壁之间设置有托板，托板顶部外壁设置有风刀，下料本体左侧底部内壁设置有支撑板，支撑板顶部外壁设置有鼓风机，装置中通过引风机工作，将下料本体内部空气抽入到收集箱中，使清理产生的氮化硅粉尘也被吸收到收集箱中，确保氮化硅粉尘不会四处飞溅，使周围环境不被污染，保证工作人员的身体健康。 |
