一种氮化硅基板烧结方法
基本信息
| 申请号 | CN202110131939.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112851364A | 公开（公告）日 | 2021-05-28 |
| 申请公布号 | CN112851364A | 申请公布日 | 2021-05-28 |
| 分类号 | C04B35/622(2006.01)I;C04B35/584(2006.01)I;C04B35/64(2006.01)I;C04B35/626(2006.01)I;C04B35/638(2006.01)I | 分类 | 水泥；混凝土；人造石；陶瓷；耐火材料〔4〕; |
| 发明人 | 柏小龙 | 申请（专利权）人 | 埃克诺新材料（大连）有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 116423辽宁省大连市花园口经济区梧桐路牡丹街85-1 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种氮化硅基板烧结方法。本发明提供的一种氮化硅基板烧结方法，通过将500g～600g氮化硅粉末、20g～25g氧化锆粉末、10g～15g氧化铝粉末以及10g～15g氧化钆粉末混合均匀后加入10g～12g聚乙烯醇缩丁醛、9g～12g邻苯二甲酸二丁酯、15g～20g聚乙二醇以及10g～15g硬脂酸，进行球磨工艺、脱泡处理，将生坯在氮气中进行脱脂和预烧结，将预烧结后的生坯进行进一步烧结，冷却后得到氮化硅基板，解决了大尺寸基板在烧结过程中易变形，不致密等缺陷，从而可得到平整度达到+‑0.002mm，致密度达到99％的大尺寸超薄氮化硅基板。 |
