一种氮化硅烧结炉

基本信息

申请号 CN202022336820.1 申请日 -
公开(公告)号 CN213396478U 公开(公告)日 2021-06-08
申请公布号 CN213396478U 申请公布日 2021-06-08
分类号 F27B5/05;F27B5/06;F27B5/14;F27D1/18;F27D11/00;H05B6/64 分类 炉;窑;烘烤炉;蒸馏炉〔4〕;
发明人 柏小龙 申请(专利权)人 埃克诺新材料(大连)有限公司
代理机构 - 代理人 -
地址 116423 辽宁省大连市花园口经济区梧桐路牡丹街85-1号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开一种氮化硅烧结炉。本实用新型提供一种氮化硅烧结炉,包括:其特征在于,包括:底座、驱动装置烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐。通过设置底座、驱动装置、烧结室、微波加热装置以及可拆卸式烧结罐,可拆卸式烧结罐可以插在驱动装置的转轴上,使得转轴上的搅拌叶片伸入罐体内部,通过驱动装置带动转轴转动从而对罐体内的原料进行搅拌,烧结室底部设置有微波加热装置,可以利用微波进行氮化硅的烧结。罐体可以灵活从烧结室中取出,便于装料和卸料以及维护,微波加热装置加热温度场均匀,热应力小,适宜于快速烧结。