氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉专利查询专利号|摘要-满商公司网

氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉

基本信息

申请号	CN202022013747.4	申请日	-
公开（公告）号	CN213013089U	公开（公告）日	2021-04-20
申请公布号	CN213013089U	申请公布日	2021-04-20
分类号	C23C16/513(2006.01)I;C23C16/30(2006.01)I	分类	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕;
发明人	刘军;沈文建	申请（专利权）人	浙江泰恒新能源有限公司
代理机构	-	代理人	-
地址	324300浙江省衢州市开化县华埠镇金山路12号
法律状态	-

摘要

本实用新型公开了氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉，包括底柜和管体，所述底柜中部安装有操作台，且底柜内部安装有抽气泵，所述底柜顶部安装有加热炉，且加热炉表面固定有连接块，且连接块另一端连接有卡块，所述卡块另一端连接有炉盖，且炉盖表面嵌入有观测玻璃，所述底柜内部安装有抽气泵，所述加热炉表面开设有通孔，且通孔下方设置有夹持块，所述夹持块内部连接有复位弹簧。该氮氧化硅背钝化用管式PECVD炉通过夹持块、复位弹簧与限位臂之间的相互配合设置，使其将管体放置于夹持块内部时，管体压动复位弹簧与限位臂向下移动，使其弯曲状限位臂的另一端向下将管体夹持固定，且通过软胶块与限位臂之间的相互配合设置，使其提升了夹持的稳定性。