首页/ 安徽宝泰特种材料有限公司/ 专利详情

一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法

基本信息

申请号 CN202011410460.3 申请日 -
公开（公告）号 CN112676374A 公开（公告）日 2021-04-20
申请公布号 CN112676374A 申请公布日 2021-04-20
分类号 B21C37/06(2006.01)I 分类 基本上无切削的金属机械加工；金属冲压;
发明人 芮天安;赵永武;丁春聪;周雄杰;赵瑞晋;马俊 申请（专利权）人 安徽宝泰特种材料有限公司
代理机构 合肥市道尔知识产权代理有限公司 代理人 董艳玲
地址 242000安徽省宣城市泾县榔桥镇工业集中区
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种磁控溅射薄膜的纯钛靶材备管的制备方法，包括以下步骤：选用海绵钛原料，经过烘烤，用油压机将海绵钛原料压制成电极块，在真空焊箱内组焊电极；采用真空自耗电弧炉对海绵钛原料熔炼两次制备铸锭；将制得的铸锭经二火次镦拔锻造得到钛圆棒；对钛圆棒进行机械加工获得光滑匀称的棒材；将制得的棒材用二辊斜轧穿孔制成管坯；去除管坯内外表面氧化皮及钛表面污染层；对制得的管坯进行多道次拉伸扩径；采用五辊冷轧机对处理后的管坯进行多次冷轧轧制；将成品管材进行真空退火处理；对制得的成品管材去毛刺、切头尾、定尺；将制得管材进行内、外表面粗抛光处理后再分别进行精抛光处理。本发明可以生产出高精度的纯钛靶材备管。