环吸除尘式装料设备
基本信息
| 申请号 | CN202022975257.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN214142613U | 公开（公告）日 | 2021-09-07 |
| 申请公布号 | CN214142613U | 申请公布日 | 2021-09-07 |
| 分类号 | C30B29/06（2006.01）I;C30B35/00（2006.01）I | 分类 | 晶体生长〔3〕; |
| 发明人 | 李辰宇;潘连胜 | 申请（专利权）人 | 锦州神工半导体股份有限公司 |
| 代理机构 | 锦州辽西专利事务所（普通合伙） | 代理人 | 李辉 |
| 地址 | 121005辽宁省锦州市太和区中信路46号甲 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 环吸除尘式装料设备，包括底座，在底座上安装水平转动的底托，在底托上方悬置与底托同轴的吸尘环，所述吸尘环为中空结构，且在吸尘环内圆面设有周向均匀分布的吸尘孔，在吸尘环上设有排尘孔。在向石英坩埚中装填单晶硅原料过程中，其可去除空气的粉尘和附着在单晶硅原料表面的多晶硅粉，提高产品质量，改善车间作业环境。 |
