多层喷气式金刚石膜涂层设备
基本信息
| 申请号 | CN201420081730.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203700517U | 公开（公告）日 | 2014-07-09 |
| 申请公布号 | CN203700517U | 申请公布日 | 2014-07-09 |
| 分类号 | C23C16/455(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 姚成泽;陈远达 | 申请（专利权）人 | 武汉世纪中航超强金刚石膜高科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 415200 湖南省常德市临澧县安福工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种多层喷气式金刚石膜涂层设备，包括涂层室、工件架、抽真空装置，其特征在于所述涂层室内设置有多层喷气装置，所述多层喷气装置包括进气管、气体储存室、温度控制器、电磁阀、加压泵、喷气管道、喷气头以及喷气细管。本实用新型可实现涂层室内各个位置的均匀喷气，保证工件涂层质量一致，同时还具有调节温度、可自动化操控的优点。 |
