一种内孔涂层金刚石膜的夹具和工艺
基本信息
| 申请号 | CN201310736149.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN103834930B | 公开（公告）日 | 2016-06-08 |
| 申请公布号 | CN103834930B | 申请公布日 | 2016-06-08 |
| 分类号 | C23C16/44(2006.01)I;C23C16/27(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈远达;王胜云 | 申请（专利权）人 | 武汉世纪中航超强金刚石膜高科技有限公司 |
| 代理机构 | 长沙市护航专利代理事务所（特殊普通合伙） | 代理人 | 武汉世纪中航超强金刚石膜高科技有限公司 |
| 地址 | 430040 湖北省武汉市东湖新技术开发区葛洲坝太阳城 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种内孔模具沉积金刚石薄膜的夹具及利用该夹具沉积金刚石膜的工艺，通过清洗干燥、预处理、抛研工件、用热丝CVD沉积设备形核、生长等步骤沉积涂层金刚石膜。本发明沉积的金刚石膜具有以下特点：维氏硬度值约为HV9000，金刚石薄膜涂层形貌连续、均匀、致密，散热性能优良。 |
