类金刚石膜涂层设备
基本信息
| 申请号 | CN201320862753.4 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN203700496U | 公开（公告）日 | 2014-07-09 |
| 申请公布号 | CN203700496U | 申请公布日 | 2014-07-09 |
| 分类号 | C23C14/32(2006.01)I;C23C14/06(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 陈远达;王胜云;何静 | 申请（专利权）人 | 武汉世纪中航超强金刚石膜高科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 415200 湖南省常德市临澧县安福工业园 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型涉及一种类金刚石膜的涂层设备，包括涂层室、行星旋转工件架、磁过滤弧源、分子泵、真空系统，所述涂层室为立式圆柱形，整体双层水冷式结构，涂层室前部设有进料门，涂层室的顶部设有管状加热器、热电偶接口，涂层室的底部设有进气口和行星旋转工件架，涂层室的侧壁安装有磁过滤弧源，涂层室的后部安装有分子泵和真空系统。本实用新型采用磁过滤功能与高真空多弧靶结构，生产质量稳定可靠，可应用于大批量生产，有利于降低生产成本。 |
