光阻处理系统
基本信息
| 申请号 | CN201811023793.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110858542B | 公开（公告）日 | 2022-06-14 |
| 申请公布号 | CN110858542B | 申请公布日 | 2022-06-14 |
| 分类号 | H01L21/027（2006.01）I | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 黄立民;翁光祥 | 申请（专利权）人 | 台州观宇科技有限公司 |
| 代理机构 | 北京威禾知识产权代理有限公司 | 代理人 | - |
| 地址 | 318015 浙江省台州市集聚区三甲街道甲南大道东段9号集聚区行政服务中心410室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种光阻处理系统以处理一基板所承载的磁性光阻，其中该光阻处理系统包含一固持装置以及一磁性装置。该固持装置具有至少一结合区，用以配置该基板；该磁性装置置于距离该结合区的一预定位置上，且该磁性装置具有一磁吸方向，对应于该结合区，其中该磁性装置所产生的磁场对该磁性光阻具有一磁吸效应。 |
