用以制造面板的无尘系统及方法
基本信息
| 申请号 | CN201911328436.2 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111508880A | 公开（公告）日 | 2020-08-07 |
| 申请公布号 | CN111508880A | 申请公布日 | 2020-08-07 |
| 分类号 | H01L21/673;H01L21/677 | 分类 | 基本电气元件; |
| 发明人 | 高瑞恳;陈政欣 | 申请（专利权）人 | 台州创王光电有限公司 |
| 代理机构 | 北京天驰君泰律师事务所 | 代理人 | 创王光电股份有限公司;台州创王光电有限公司 |
| 地址 | 中国台湾新竹县302新竹市复兴1街251号9F-2 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 一种用以制造面板的方法以及用以制造面板的无尘系统。所述方法包括数个操作。于一第一机台中在一基板上进行一第一操作。于一第二机台中在该基板上进行一第二操作。在该第一机台及该第二机台间输送该基板，其中该基板系在一微环境中由一面板载运装置输送。 |
