一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头
基本信息
| 申请号 | CN201410618362.7 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN104357802A | 公开（公告）日 | 2015-02-18 |
| 申请公布号 | CN104357802A | 申请公布日 | 2015-02-18 |
| 分类号 | C23C14/34(2006.01)I | 分类 | 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制〔2〕; |
| 发明人 | 邵海平 | 申请（专利权）人 | 中国工商银行股份有限公司东莞长安支行 |
| 代理机构 | 深圳市千纳专利代理有限公司 | 代理人 | 邵海平;广东谛思纳为新材料科技有限公司 |
| 地址 | 518000 广东省深圳市龙岗区宝龙大道宝清路华丰数码科技园7栋 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及立式真空镀膜设备领域，具体涉及一种氟化物轴封超薄旋转阴极端头。它包括底座，底座中部设有第一通孔，底座的底部设有与底座相连接的用于引导液体的引液组件，底座的顶部设有用于安装靶桶的下端盖，所述下端盖中部设有第二通孔，引液组件的头端穿过所述第一通孔和第二通孔，下端盖与底座之间设有套在所述引液组件上用于转动的转动组件，所述转动组件上还设有用于密封所述转动组件的密封组件。本发明通过双轴承配合同步轮的超薄端头结构,既满足使用要求，又节约腔体空间，在制造真空设备室能节约了材料使用，降低设备成本，同时压缩了真空室空间，等于加大了真空泵的抽速.并且由于厚度比较薄还可适用于旧的真空设备改造。 |
