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一种亚微米多自由度超高真空样品台

基本信息

申请号 CN202021953178.5 申请日 -
公开（公告）号 CN212931485U 公开（公告）日 2021-04-09
申请公布号 CN212931485U 申请公布日 2021-04-09
分类号 G01D11/30;G01D11/00 分类 测量；测试;
发明人 赵嘉峰;池彬;谢斌平;欧宏炜 申请（专利权）人 费勉仪器科技（南京）有限公司
代理机构 上海国瓴律师事务所 代理人 傅耀
地址 210000 江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型提供了一种亚微米多自由度超高真空样品台。包括旋转平台、旋转轴和亚微米三维平移台；其中，所述亚微米三维平移台包括样品杆，所述样品杆位于所述亚微米三维平移台下方，并与所述亚微米三维平移台固定连接，所述旋转平台位于所述亚微米三维平移台下方，并通过所述旋转轴与所述亚微米三维平移台连接。其中本实用新型的有益效果是：解决了现有技术中样品杆不在旋转轴上时，旋转时，测量微区移动，没法盯着一点测量旋转时，总长更长、相对轴线做旋转运动时偏摆幅度大的技术问题。本实用结构简单，便于使用，精度更高。