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一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置

基本信息

申请号 CN202021791983.2 申请日 -
公开（公告）号 CN212570921U 公开（公告）日 2021-02-19
申请公布号 CN212570921U 申请公布日 2021-02-19
分类号 H01J37/32(2006.01)I; 分类 基本电气元件;
发明人 王艳会;叶雨城;赵子淳;邹洁;鹿建;谢斌平 申请（专利权）人 费勉仪器科技（南京）有限公司
代理机构 南京瑞华腾知识产权代理事务所（普通合伙） 代理人 梁金娟
地址 210000江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼4层
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置，包括电镜分析仪器腔体，电镜分析仪器腔体分别与真空规、RGA分析器、QCM膜厚控制仪和抽气泵连接，电镜分析仪器腔体还连接有等离子发生器，等离子发生器的输出端与电镜分析仪器腔体之间的连接管道上设置有朗缪尔探针，用以测量等离子发生器放电时产生的等离子参数，等离子发生器输出端的顶部设置有漏气阀，等离子发生器的输入端通过射频线与射频源主体连接。该用于精密电镜分析仪器的等离子清洗装置可以根据需要清洗腔体的类型和尺寸选择合适的放电功率，从而达到清洗污染物的目的，适用性更强；采用射频源激励产生等离子体对腔体内部进行清洗，对清洗腔体的内壁不会产生损伤。