芯片用聚酰亚胺剥离液及制备方法
基本信息
| 申请号 | CN201210451867.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN102944986A | 公开（公告）日 | 2013-02-27 |
| 申请公布号 | CN102944986A | 申请公布日 | 2013-02-27 |
| 分类号 | G03F7/42(2006.01)I | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 廖勇勤 | 申请（专利权）人 | 大连三达维芯半导体材料有限公司 |
| 代理机构 | 大连非凡专利事务所 | 代理人 | 闪红霞 |
| 地址 | 116023 辽宁省大连市高新技术产业园区学子街99号318室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开一种芯片用聚酰亚胺剥离液，其特征在于由如下组分（质量百分比）构成：吡咯烷酮5~60%，亚砜5~80%，醇醚5~40%，季铵0.1~20%，碱0.1~10%，水余量，既可快速彻底（无残留）去除聚酰亚胺，又能防止金属材料被氧化受损，有效提高了产品的优良率。 |
