一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法和系统
基本信息
| 申请号 | CN202111387730.8 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113822883B | 公开（公告）日 | 2022-03-11 |
| 申请公布号 | CN113822883B | 申请公布日 | 2022-03-11 |
| 分类号 | G06T7/00（2017.01）I;G06T7/13（2017.01）I;G06T7/73（2017.01）I;H01L21/68（2006.01）I;H01L21/66（2006.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 左右祥;杨义禄;关玉萍;查世华;李波;曾磊 | 申请（专利权）人 | 中导光电设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州维智林专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵晓慧 |
| 地址 | 526238广东省肇庆市高新区北江大道20号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供一种基于寻找晶圆直边的晶圆对位方法和系统。该方法包括：先转盘旋转晶圆并沿着晶圆的外边缘逐帧拍照，并记录拍摄图像时所旋转的角度；接着对拍到的照片逐帧处理并提取图像的边缘信息；然后对得到的图像边缘信息利用最小二乘法，拟合直线；最后根据边缘点和拟合的直线关系来确定是否为直边；并根据直边的倾斜角度以及所在图像的旋转角度，完成晶圆对位。本发明基于视觉图像处理技术，通过查找晶圆直边的方法实现对晶圆的对位，精度高，速度快，鲁棒性好。 |
