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一种显微镜测量方法

基本信息

申请号	CN202111374260.1	申请日	-
公开（公告）号	CN114088628A	公开（公告）日	2022-02-25
申请公布号	CN114088628A	申请公布日	2022-02-25
分类号	G01N21/01（2006.01）I;G01N21/84（2006.01）I	分类	测量；测试;
发明人	张梁;陈焜;李波	申请（专利权）人	中导光电设备股份有限公司
代理机构	广州维智林专利代理事务所（普通合伙）	代理人	赵晓慧
地址	526238广东省肇庆市高新区北江大道20号之一
法律状态	-

摘要

本申请提供一种显微镜测量方法。该方法包括：显微镜聚焦，判断聚焦传感器反馈值是否小于一次聚焦范围阈值；连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量；判断标准方差是否小于聚焦稳定性阈值，如果否，则计数加一，并判断计数是否超过预设次数，如果计数超过预设次数则报警，结束，如果计数不超过预设次数，则再次连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量；如果标准方差小于聚焦稳定性阈值则进入下一步；判断平均值是否小于二次聚焦稳定性阈值；根据平均值计算显微镜离焦距离，根据离焦距离移动聚焦马达，然后再次连续读取三次以上聚焦传感器反馈值，计算平均值和标准方差，同时采图测量。