一种晶圆圆心偏移检测方法
基本信息
| 申请号 | CN202111035616.9 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN113470108B | 公开（公告）日 | 2022-02-22 |
| 申请公布号 | CN113470108B | 申请公布日 | 2022-02-22 |
| 分类号 | G06T7/66（2017.01）I;G06T7/00（2017.01）I | 分类 | 计算；推算；计数; |
| 发明人 | 陈盛闯;张梁;李波 | 申请（专利权）人 | 中导光电设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州维智林专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵晓慧 |
| 地址 | 526238广东省肇庆市高新区北江大道20号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明提供了一种晶圆圆心偏移检测方法，包括：驱动晶圆在转盘上旋转一周；获取旋转时在摄像机下形成的多个图像；根据所述多个图像计算晶圆的偏移角度；根据所述多个图像计算晶圆的偏移距离；根据所述晶圆的偏移角度和偏移距离计算圆心的偏移坐标。本发明采用旋转载台带动晶圆转动，定点拍照，结构简单,采集分辨率自由可控制；精准推导圆心偏移公式，求取圆心偏移采用分离计算方法，采用多测量数据进行拟合来提高测量准确度，对微小数据进行等效估算，在数据保真前提下降低计算难度。利用余弦三角函数的曲线特点，对数据进行校验、插补、补偿，排除缺失、异常数据，光滑噪声，提高测量准确度和精度。 |
