一种双显微镜测量设备及方法
基本信息
| 申请号 | CN202111374242.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN114088627A | 公开（公告）日 | 2022-02-25 |
| 申请公布号 | CN114088627A | 申请公布日 | 2022-02-25 |
| 分类号 | G01N21/01（2006.01）I;G01N21/84（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 张梁;陈焜;李波 | 申请（专利权）人 | 中导光电设备股份有限公司 |
| 代理机构 | 广州维智林专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 赵晓慧 |
| 地址 | 526238广东省肇庆市高新区北江大道20号之一 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种双显微镜测量设备及方法，包括：两个显微镜、龙门、夹具；其中，所述两个显微镜安装在龙门的轴上，能够在龙门上来回移动；所述显微镜具有电动微调装置，安装在显微镜与龙门的连接处，以对显微镜的位置进行微调；和/或，所述夹具具有旋转电动微调装置，安装在夹具的底部，以对夹具的位置进行微调。测量时，将同一行测量点左右平分，如果是奇数个点位，则增加一个虚拟点位，左侧显微镜负责左侧点位，右侧显微镜负责右侧点位，从左至右或从右至左同向逐个点位依次同时进行移动和测量。本发明的优点在于：基板及其夹具质量比较小，重心比较低，移动后机台较短时间就可以稳定，可以较快进行测量，提高测量效率。 |
