一种陶瓷电容式压力传感器及其制备方法
基本信息
| 申请号 | CN202011187065.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN112229544A | 公开（公告）日 | 2021-01-15 |
| 申请公布号 | CN112229544A | 申请公布日 | 2021-01-15 |
| 分类号 | G01L1/14;G01L9/12 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 景杰;殷捷;许正昌;王清新 | 申请（专利权）人 | 常州盛士达传感器有限公司 |
| 代理机构 | 常州国洸专利代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 吴丽娜 |
| 地址 | 213000 江苏省常州市新北区新竹路18号 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明涉及一种陶瓷电容式压力传感器及其制备方法，属于传感器制备技术领域。包括厚陶瓷基板、薄陶瓷基板，所述厚陶瓷基板和薄陶瓷基板之间通过玻璃浆粘结层粘结固定，所述厚陶瓷基板侧边缘上开设有多个凹槽，每个所述凹槽中都装填有一个L型的导电片，所述导电片和凹槽之间通过银胶导电连接，所述厚陶瓷基板顶部凹槽位置上还设有焊盘，所述焊盘用于连接导电片达到过渡连接作用。本发明的陶瓷电容式压力传感器在厚陶瓷基板侧边缘切凹槽，在凹槽中装填导电片，并在导电片和凹槽之间通过灌入导电银胶来填满槽腔，不受气压的影响，可以保证填满槽腔，同时也可以直观的检测，使得传感器的输出可靠性得到显著提高。 |
