一种陶瓷电容式压力传感器

基本信息

申请号 CN202022467496.7 申请日 -
公开(公告)号 CN213688740U 公开(公告)日 2021-07-13
申请公布号 CN213688740U 申请公布日 2021-07-13
分类号 G01L1/14(2006.01)I;G01L9/12(2006.01)I 分类 测量;测试;
发明人 景杰;殷捷;许正昌;王清新 申请(专利权)人 常州盛士达传感器有限公司
代理机构 常州国洸专利代理事务所(普通合伙) 代理人 吴丽娜
地址 213000江苏省常州市新北区新竹路18号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型涉及一种陶瓷电容式压力传感器,属于传感器制备技术领域。包括厚陶瓷基板、薄陶瓷基板,所述厚陶瓷基板和薄陶瓷基板之间通过玻璃浆粘结层粘结固定,所述厚陶瓷基板侧边缘上开设有多个凹槽,每个所述凹槽中都装填有一个L型的导电片,所述导电片和凹槽之间通过银胶导电连接,所述厚陶瓷基板顶部凹槽位置上还设有焊盘,所述焊盘用于连接导电片达到过渡连接作用。本实用新型的陶瓷电容式压力传感器在厚陶瓷基板侧边缘切凹槽,在凹槽中装填导电片,并在导电片和凹槽之间通过灌入导电银胶来填满槽腔,不受气压的影响,可以保证填满槽腔,同时也可以直观的检测,使得传感器的输出可靠性得到显著提高。