一种低浓度标准气体持续发生装置及其发生方法

基本信息

申请号 CN201810616981.0 申请日 -
公开(公告)号 CN108554207A 公开(公告)日 2018-09-21
申请公布号 CN108554207A 申请公布日 2018-09-21
分类号 B01F3/02;B01F15/04;B01F15/00 分类 一般的物理或化学的方法或装置;
发明人 谢雷;杨雁南;沈飞宙 申请(专利权)人 上海雷密传感技术有限公司
代理机构 北京东正专利代理事务所(普通合伙) 代理人 张亦华
地址 201807 上海市嘉定区城北路1355号1幢801室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明公开了一种低浓度标准气体持续发生装置及其发生方法,该发生装置包括进气管路、气源室、主气室和配气管路,气源室通过第一气泵与主气室连通,主气室内安装有压差传感器,主气室的出气端通过传质控制装置与配气管路连通,进气管路分别与气源室和配气管路连通。与现有技术相比,本发明的技术方案利用传质控制装置控制气室容积,使气室压力稳定,可配置并持续输出低浓度、流速均匀的标准气体,配气操作简便,效率高,稳定性好。