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机械手臂

基本信息

申请号 CN202022913314.4 申请日 -
公开（公告）号 CN213936147U 公开（公告）日 2021-08-10
申请公布号 CN213936147U 申请公布日 2021-08-10
分类号 H01L21/677（2006.01）I 分类 基本电气元件;
发明人 袁鹏华 申请（专利权）人 上海华力集成电路制造有限公司
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 顾浩
地址 201315上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
法律状态 -

摘要

摘要 一种机械手臂，用于取放晶圆，包含：伸出臂、位置感知部件、数据处理模块、手臂控制器。伸出臂用以承载待取放的晶圆，伸出臂设定有对准中心点，伸出臂由驱动机构带动运动。位置感知部件设置于伸出臂处，位置感知部件用以测量晶圆中心的位置。位置感知部件获得的晶圆中心的位置相关信号传输给数据处理模块，数据处理模块中存储有对准中心点的位置数据。手臂控制器包括执行器，执行器根据测量的晶圆中心的位置向驱动机构输出执行信号。据此，由于位置感知部件位于伸出臂处，所以，能够在晶圆位于伸出臂处时即可以感知晶圆中心位置，能够及时调整伸出臂的位置，且根据实际的晶圆中心位置来执行后续的伸出臂的运动。