加液装置
基本信息
| 申请号 | CN202022799211.X | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN213933770U | 公开（公告）日 | 2021-08-10 |
| 申请公布号 | CN213933770U | 申请公布日 | 2021-08-10 |
| 分类号 | G01N33/00（2006.01）I;H01L21/67（2006.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 袁鹏华;许文泽 | 申请（专利权）人 | 上海华力集成电路制造有限公司 |
| 代理机构 | 上海浦一知识产权代理有限公司 | 代理人 | 顾浩 |
| 地址 | 201315上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型提供一种加液装置包含：储液罐体，所述储液罐体用以存储待加入的液体，所述储液罐体设有出液接口；加液罐体接头，所述加液罐体接头用以密封连接所述加液入口，所述加液罐体接头上有管路接口和抽真空接口；加液管路，所述加液管路连接所述出液接口和所述管路接口。据此，整体的加液装置与周围厂区环境相对封闭，液体不会因为吹扫、溅滴、外溢等情形而挥发散逸到厂区环境中，从而避免了污染厂区环境气体，防止TVOC监测数据局部短时超标导致生产线报警和停线。 |
