一种用于微松倒片机的超温报警装置

基本信息

申请号 CN202110508773.0 申请日 -
公开(公告)号 CN113252193A 公开(公告)日 2021-08-13
申请公布号 CN113252193A 申请公布日 2021-08-13
分类号 G01K1/02;G01K13/00;H02H5/04 分类 测量;测试;
发明人 崔毅峰;金卫;张叶 申请(专利权)人 上海华力集成电路制造有限公司
代理机构 上海浦一知识产权代理有限公司 代理人 戴广志
地址 201203 上海市浦东新区康桥东路298号1幢1060室
法律状态 -

摘要

摘要 本发明提供一种用于微松倒片机的超温报警装置,两个相互间隔的接触器;安装在该两个接触器之间的常闭式温度传感器;常闭式温度传感器串联在微松倒片机的电源控制电路的电源回路中;电源回路中包括与常闭式温度传感器串联的紧急停钮;电源回路的一端连接走线孔P1,另一端连接走线孔H1;走线孔P1通过电源模块连接火线的一端;走线孔H1通过电源模块连接零线的一端;火线、零线的另一端分别连接于工厂电源。当接触器因老化等原因发生异常时,其周边温度会逐渐升高,当温度超过最大测量温度时,常闭式温度传感器会形成开路,机台跳电并报警。实现了电器部件异常时的预报警,提升了设备的安全性。