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一种晶片质量检测装置

基本信息

申请号 CN201621196465.X 申请日 -
公开（公告）号 CN206161548U 公开（公告）日 2017-05-10
申请公布号 CN206161548U 申请公布日 2017-05-10
分类号 G01N21/88(2006.01)I 分类 测量；测试;
发明人 高书征;林森;陆再旺 申请（专利权）人 深圳旭升智能装备有限公司
代理机构 深圳市兴科达知识产权代理有限公司 代理人 深圳旭升智能装备有限公司;青岛旭升视觉有限公司
地址 518000 广东省深圳市前海深港合作区前湾一路1号A栋201
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种晶片质量检测装置，包括机架、上位机、相机、机器人、移动光源、真空吸头、真空源、用于承载晶片矩阵的工作台和控制电路；工作台和机器人安装在机架的下部，机器人位于工作台的一侧；相机安装在机架的上部，朝向工作台；移动光源安装在机架的中部，位于工作台的上方；真空吸头固定在机器人的机械手上，朝向工作台；控制电路包括控制器，控制器的输入端接上位机的输出端，移动光源的控制端接控制器的控制信号输出端；机器人分别与上位机及控制器通信连接，相机与上位机通信连接。本实用新型的晶片质量检测装置结构简单，操作步骤少，做到一次对大量晶片的准确识别剔取，生产效率高。