一种热纳米压印装置
基本信息
| 申请号 | CN201520768338.1 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN205091541U | 公开（公告）日 | 2016-03-16 |
| 申请公布号 | CN205091541U | 申请公布日 | 2016-03-16 |
| 分类号 | G03F7/00 | 分类 | 摄影术；电影术；利用了光波以外其他波的类似技术；电记录术；全息摄影术〔4〕; |
| 发明人 | 不公告发明人 | 申请（专利权）人 | 浙江海智芯科技有限公司 |
| 代理机构 | - | 代理人 | - |
| 地址 | 210028 江苏省南京市栖霞区和燕路371号东南大学科技园科创楼C405 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本实用新型公开了一种热纳米压印装置，主要包括：压力腔1、真空腔2、加热盘3、隔热垫4、找平机构5、压印组合6等六大部分组成。压力腔1与真空腔2通过铰链相连接，通过安全扣203进行锁死，密封圈进行密封；真空腔2装有接触传感器202。当压力腔与真空腔闭合时，压印程序才能提供压力，进行纳米压印过程，最终在PMMA，PC，PET等高分子薄膜上形成均匀的亚微米结构。 |
