应用于AFM-SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法
基本信息
| 申请号 | CN201911274839.3 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN111024988B | 公开（公告）日 | 2021-07-13 |
| 申请公布号 | CN111024988B | 申请公布日 | 2021-07-13 |
| 分类号 | G01Q70/16;G01Q80/00;B81C1/00;B81B7/02 | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈科纶;王纯配;陈俊;孙钰;汝长海 | 申请（专利权）人 | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张荣 |
| 地址 | 215100 江苏省苏州市相城区高铁新城环秀湖大厦（原怡城园艺）南三、四楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC及其制造方法。本发明一种应用于AFM‑SEM混合显微镜系统的PRC，包括：pcb基板、设置在所述pcb基板上的衬底、设置在所述衬底上的固定值电阻器、设置在所述衬底上的压电电阻器、焊盘和固定结构；所述压电电阻器包括悬臂梁和设置在所述悬臂梁前端的探针；所述固定值电阻器和所述压电电阻器互相平行；所述pcb基板远离所述衬底的一侧、两个侧边和靠近所述衬底的一侧设有第一导电涂层。本发明的有益效果：通过导电涂层尽可能消除落在PRC上的电荷，降低SEM电子束对PRC造成的干扰，使得基于PRC的AFM可以兼容SEM。 |
