一种原子力显微镜的探针的刚度实时调节方法
基本信息
| 申请号 | CN201911329307.5 | 申请日 | - |
| 公开（公告）号 | CN110954714B | 公开（公告）日 | 2021-10-19 |
| 申请公布号 | CN110954714B | 申请公布日 | 2021-10-19 |
| 分类号 | G01Q60/38（2010.01）I | 分类 | 测量；测试; |
| 发明人 | 陈科纶;谷森;孙钰;汝长海;朱军辉 | 申请（专利权）人 | 江苏集萃微纳自动化系统与装备技术研究所有限公司 |
| 代理机构 | 苏州市中南伟业知识产权代理事务所（普通合伙） | 代理人 | 张荣 |
| 地址 | 215100江苏省苏州市相城区高铁新城环秀湖大厦（原怡城园艺）南三、四楼 | ||
| 法律状态 | - | ||
摘要
| 摘要 | 本发明公开了一种原子力显微镜的探针的刚度实时调节方法，包括以下步骤：在所述悬臂梁上涂有刚度调节层，形成悬臂梁‑涂层复合件；通过改变所述刚度调节层的温度以改变悬臂梁‑涂层复合件的刚度。能够实时调节探针刚度，不需频繁更换探针，减少探针损耗，调节范围大，工作范围广，稳定性好。 |
