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舱门气压调整装置

基本信息

申请号 CN202021953392.0 申请日 -
公开（公告）号 CN213071061U 公开（公告）日 2021-04-27
申请公布号 CN213071061U 申请公布日 2021-04-27
分类号 H01J49/04;G01N27/64 分类 基本电气元件;
发明人 于津;乌月恒 申请（专利权）人 珠海美华医疗科技有限公司
代理机构 广州嘉权专利商标事务所有限公司 代理人 郑晨鸣
地址 519125 广东省珠海市唐家湾镇港湾大道科技一路10号
法律状态 -

摘要

摘要 本实用新型公开了一种舱门气压调整装置，包括质谱仪本体、靶板、升降机构、可开合的舱门、导气组件和抽真空组件，其中，质谱仪本体内部设置有相互连通的真空腔体和过渡腔体，靶板和升降机构设于真空腔体的内部，升降机构用于驱动靶板上升或下降，当升降机构将靶板升起并置于过渡腔体与真空腔体之间时，过渡腔体与真空腔体相互独立；舱门设于质谱仪本体上且位于过渡腔体的一侧，舱门用于封盖或打开过渡腔体；导气组件和抽真空组件均与过渡腔体连通，导气组件用于向过渡腔体内部导入气体，抽真空组件用于对过渡腔体内部进行抽真空。根据本实用新型的舱门气压调整装置，便于在不破坏质谱仪的真空环境的情况下，实现样品的放入与取出。